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  • 高通量4工位管式炉 (1200℃,80mm石英管)
  • 1200℃小型双温区开启式管式炉(含样品移动模块)
  • 1200℃双炉体(管径80mm)滑动TCVD系统
  • 300mm宽平板挤压涂布机
  • 磁控溅射蒸发镀膜仪
  • 固态电池加热加压测量系统
  • 磷酸钛铝锂固体电解质片(Li1.3Al0.3Ti1.7P3O12)
  • 1200℃小型四温区开启式管式炉
  • 200℃电动轧辊/平板热轧机 (宽200mm,可在氩气环境中使用)
  • 全自动双炉滑动CVD系统(1200℃Max)
  • 1200℃双温区旋转管式氢气炉 (异形炉管容积:Φ127*280mm)
  • 1600℃双通道超声雾化CVD管式炉
  • 1700℃高温取样箱式炉(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
  • 小型真空箱式炉 (6L,1050℃,配温度控制器)
  • 1200℃直径13cm滑动管式炉-快速加热-冷却
  • 可连续型全自动气淬管式炉
  • 小型分体式磁控溅射仪(50mm靶头,可选直流或射频电源,手套箱内可用)
  • STX-600系列金刚石线切割机
  • 1100℃立式坩埚炉 (加热腔 φ120*200mm)
  • 1500℃三温区回转炉(配自动进料和接收系统)
  • PECVD系统
  • 5T精密电动无油平板热压机 (500ºC,135mmx135mm)
  • 立式管式炉
  • 1700℃高温箱式炉带观察窗(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)

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