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高通量4工位管式炉 (1200℃,80mm石英管)
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1200℃小型双温区开启式管式炉(含样品移动模块)
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1200℃双炉体(管径80mm)滑动TCVD系统
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300mm宽平板挤压涂布机
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磁控溅射蒸发镀膜仪
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固态电池加热加压测量系统
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磷酸钛铝锂固体电解质片(Li1.3Al0.3Ti1.7P3O12)
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1200℃小型四温区开启式管式炉
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200℃电动轧辊/平板热轧机 (宽200mm,可在氩气环境中使用)
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全自动双炉滑动CVD系统(1200℃Max)
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1200℃双温区旋转管式氢气炉 (异形炉管容积:Φ127*280mm)
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1600℃双通道超声雾化CVD管式炉
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1700℃高温取样箱式炉(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
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小型真空箱式炉 (6L,1050℃,配温度控制器)
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1200℃直径13cm滑动管式炉-快速加热-冷却
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可连续型全自动气淬管式炉
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小型分体式磁控溅射仪(50mm靶头,可选直流或射频电源,手套箱内可用)
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STX-600系列金刚石线切割机
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1100℃立式坩埚炉 (加热腔 φ120*200mm)
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1500℃三温区回转炉(配自动进料和接收系统)
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PECVD系统
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5T精密电动无油平板热压机 (500ºC,135mmx135mm)
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立式管式炉
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1700℃高温箱式炉带观察窗(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)