| 设备名称 | PECVD系统 OTF-1200X-S-50-II-R-4CV-PE |
| 功能特点 | ·可通过炉管旋转来使得粉料烧结的更加均匀； ·加热炉采用两个加热温区，可以实现双温区独立控温； ·带有预热炉，可以实现固相粉末的蒸发； ·炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，能最大程度减少能量损失。 |
| 工作原理 | 加热炉利用电流使炉内加热元件发热，采用固态继电器进行电路控制，采用温度传感器（热电偶）检测炉内温度，热电偶检测到的温度反馈到控温仪表。智能控温仪可设置升温过程（升温速度），仪表采集到热电偶反馈的炉内温度信号，会通过PID调节输出合适的电压信号，固态继电器接收到仪表的输出信号，控制自身的通断时间从而达到调节炉内温度稳定的目的，使得高温炉按照控 温仪设置好的升温过程进行升温 |
| 技术参数 | ·电源:AC220V/50HZ ·功率:功率 ·炉管:外径φ60-内径φ50*1500mm（异形，带挡板）
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| 预热管式炉 | · 型号：OTF-1200X-S · 电源：AC220V/50HZ · 功率：1.5KW · 加热区长度：200mm · 最高温度：1200度（≤30min） · 工作温度：1100度 · 热电偶：K型 · 智能化仪表，PID控制，50段程序控温
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| 双温区旋转炉 | · 型号：OTF-1200X-S-R-II · 电源：AC110V/50HZ/60HZ · 功率：1.5KW · 加热区长度：100mm*2（双温区独立控温） · 最高温度：1200度（≤30min） · 工作温度：1100度 · 热电偶：K型 · 智能化仪表，PID控制，50段程序控温 · 旋转速度：1-20r/min（可调） · 磁流体密封法兰
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| 真空系统 | · 电源：AC220V/50Hz · 功率：550W · 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载） · 抽气速率：3L/s · 抽气口：KF25接口 · 可选配真空度更高的系统
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| 供气系统 | · 型号：GSL-4Z-LCD（可选配其他型号） · 质量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM 可选配其他量程的控制器 · 精度：±1.5%FS · 最大压力0.3MPa · 内部连接1/4英寸不锈钢和聚四氟管 · 内置不锈钢混气罐
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| 射频电源 | · 功率输出范围：0-500W · 功率稳定度：≤±5W · 射频频率：13.56MHZ · 自动匹配 · 噪音：≤50dB · 冷却方式：风冷
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| 密封法兰系统 | · Φ50mm的不锈钢磁流体法兰 · 一个进气口 尺寸：1/4英寸双卡套接头，一个不锈钢截止阀控 制进气 · 两个出气口 尺寸：1个KF25接口用于接真空泵（配有真空挡板 阀），1个手动出气口，方便放气。 · 一个KF16接口连接真空规管 |
| 模块化控制（选配） | 可通过触摸屏操作控制供气系统、温控系统以及射频电源的使用,方便快捷 |
| 外形尺寸 | 1900长*600宽*1350mm高
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| 重量 | 约330KG |
| 保质期 | 1年（不包含炉管、O型圈、加热元件等损耗件） |
| 使用注意事项 | · 石英管内的气压不可高于0.02MPa； · 气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于 0.02MPa ，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气 阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示 数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开出气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原 因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和 防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公 司概不负责。 |
使用注意事项 | · 石英管内的气压不可高于0.02MPa； · 气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀， 本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热， 则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开出气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞 出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体， 请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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