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热处理设备: 管式炉箱式炉箱管混合

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加热方式: 电阻加热红外灯管加热感应加热微波加热

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加热形式: 常规炉立式箱管混合式回转炉

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加热温度: 300-1200 1250-1500 1600-2000

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加热温区: 单温区双温区三温区多温区感应加热专用

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管径: ф‍25 ф‍50 ф‍60 ф‍80 ф‍100 ф‍120及以上

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桌面式紫外臭氧清洗机(12" x 12"腔室和最高150℃的加热台）
精密真空压力调节系统 (配涡轮增压泵,可选配冷阱)
真空搅拌机 (配真空泵,2个搅拌罐,可选1升混合器)
回转炉
供气系统
恒压系统
PECVD系统
1200℃小型PECVD 管式炉系统
100℃变速电热轧机（轧辊宽100mm，AR气体兼容）
1500℃开启式管式炉，带真空法兰和2或3英寸刚玉管
12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉
回转炉
回转炉
1200℃下装载升降真空炉（气体冷却，加热区尺寸：Φ240*260mm）
1400℃箱式炉（8L，炉腔尺寸：200*200*200mm）
1200℃箱式炉（27L，炉腔尺寸：300*300*300mm）
1500℃双温区管式炉
1400℃箱式炉（18.8L，炉腔尺寸：250*300*250mm）
电弧辅助可二次加料真空熔炼炉 (1200℃,Ф200 * 425mm)
1750℃小型真空管式炉 (60mm管径)
1200℃真空密封坩埚移动管式炉(手动）
50mL双罐旋转反应釜 (230℃,压力范围3-10MPa)
1700℃小型高温箱式炉 (1.7L,炉腔尺寸:120*120*120mm)
1500℃小型管式炉（带真空法兰，可用于2或3英寸刚玉管）

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