| 手套箱（带有净化系统） | ·腔体尺寸：1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H，材质不锈钢 ·腔体前门设计为开启式，便于放置设备和样品。 ·手套箱配有净化系统，可以快速去除手套箱内的O2和H2O ·净化系统安装有自动再生系统（自动对吸氧和吸水材料进行净化） ·净化系统确保手套箱内的O2和H2O含量低于1PPM ·2个不同过度仓，保证在不破坏手套箱气氛环境下，达到手套箱内外样品传递
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| 溅射镀膜仪 | ·溅射仪镶嵌在手套箱底部，采用一个铰链式法兰把手套箱腔体和溅射仪腔体隔离开 ·3个2英寸磁控溅射头，安装在溅射仪顶部
·3个溅射电源安装在一空控制单元盒内，置于手套箱外。请根据实验要求选择溅射电源： 1个或2个直流电源：功率500W，用于溅射金属靶材（图1） 1个或2个射频电源：功率300W，频率13.56MHz,用于溅射非导电性靶材。
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| 磁控溅射头 | ·3个2英寸磁控溅射头，带有水冷夹层 ·靶材直径要求：25mm ·靶材厚度范围：0.1~5mm ·设备中包含1个不锈钢靶材和氧化铝靶材用于仪器测试
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| 真空腔体 | ·真空腔体尺寸：Φ300mm×300mm ·一个石英观察窗口，直径Φ100mm
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| 样品台 | ·样品台可转动（为了薄膜均匀）和加热，采用陶瓷加热片加热，表面覆盖铜板 ·样品台尺寸：直径140mm,可放置4英寸基片 ·转动速度：1-120rpm(可调） ·样品台加热温度：室温-500℃（2小时），控温精度正负1℃
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| 气体&流量控制 | 2个精密的气体质量流量计安装在设备上 流速：0—200ml/min&0-100ml/min,可在触摸屏面板上设置参数 一个进气阀安装在设备上，用于破坏真空 需要纯度为5N的Ar气，来运行溅射镀膜仪
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| 真空泵 | 设备中配有一个抽气速率为240L/min的双级旋片真空泵 因为溅射仪与手套箱连接，所以不需要分子泵系统，手套箱内部惰性气体的水氧含量＜1PPM，远好于用分子泵的效果
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| 循环水冷机 | 一个数显温度可控的循环水冷机 温度范围：5~35℃ 流量：16L/min 泵压：0.1MPa
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| 可选 | 精密石英薄膜测后仪，可安装在溅射腔体内，实时检测薄膜厚度，显示精度为0.1Å
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| 电源要求 | ·单相220 VAC 50 / 60 Hz ·3000 W (包括真空泵和循环水冷机) |
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皖公网安备 34012302000974号
