| 电源 | ·AC 208-240V 单相 50/60 Hz ·功率；1.5 KW (手套箱); 2.5 KW ( 镀膜仪) ·总功率: 4.0 KW |
| 手套箱 | ·腔体尺寸: 1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H ·手套箱内 O2 & H2O 含量小于1PPM ·腔体材料: 304 不锈钢，厚度3mm ·手套箱前仓门可开启
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| 真空腔体和样品台 | ·镀膜仪真空腔体采用SS304不锈钢制作，安装在手箱底部 ·顶部法兰采用铰链式法兰，可手动开启 ·2个使用观察窗口安装在腔体上 ·等离子溅射头和2个蒸发加热源安装在真空腔体底部 ·一个可加热旋转样品安装在顶部法兰上，最大可安装直径4英寸样品。 ·样品台旋转速度: 5 rpm ·一个旋转挡板安装在法兰底部，避免蒸发源和溅射头之间相互污染
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| 射频溅射电源&溅射头 | ·溅射电源：频率13.5MHz,300W,自动匹配功能 ·一个2英寸的溅射头（带水冷却管道），安装在真空腔体上 ·一个流量16L/min的循环水冷机安装在手套量底部 ·RF溅射仪可溅射导电和非导电材料 |
| 热蒸镀 | ·2个钨线圈加热源，带有2个B型热电偶和氧化铝坩埚，安装在真空腔体内（图1） ·1个控温仪表，控温精度±1℃，可设置30段温度段（图2） ·一个电源转化按钮，用于在2个加热源之间转化加热 ·工作温度: 200ºC - 1700ºC ·建议加热速率: 0.3 ºC/s (RT-1200 ºC) 和 15 ºC/s (1200ºC - 1700 ºC) ·配有4个氧化铝坩埚和2个钨丝加热圈
图1 图2 |
| 真空泵 | ·KF25接口用于连接真空泵 ·最大真空度可达10-4Pa(采用分子泵系统） ·一个防腐型数字真空计安装在真空腔体上 ·可在本公司选购各种真空泵
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| 薄膜测厚仪 | ·真空腔体内安装有一个高精度薄膜测厚仪，可实时监测薄膜厚度 ·测量精度: 0.1 Å
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