| 设备特点 | ·1400W 2.45GHz 微波腔体 ·不锈钢和铝壳体阻止微波泄漏 ·最高加热加热速率：20℃/min ·加热模块在温度腔体内，最高加热温度1200℃ ·精密温度控制器，可设置30段温度段，控温精度±1℃ ·高纯氧化铝纤维作为绝热材料，提高加热效率
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| 电源要求 | ·最大功率：2000W ·电压：208~240VAC，单相，50/60Hz |
| 微波 | ·频率：2.45GHz±25MHz ·功率输出：1400W ·微波泄漏：≤3mW/cm2 (在离设备1米以外） |
| 加热模块和炉管 | ·Ni-Cr-Al丝作为加热元件，高纯氧化铝纤维作为炉膛绝热材料，炉膛直径为Φ80mm (图1） ·加热模块安装在微波腔体内 ·炉管为高纯石英管，尺寸：外径50mm×内径44mm×长度600mm(图2）
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| 密封法兰&真空度 | ·一对真空密封法兰安装在石英炉管两端 ·KF25真空接口和1/4英寸进气和出气口，不锈钢针阀安装在法兰上（图1） ·一个数显型防腐真空计安装在法兰上，用于显示炉管内真空度（图2） ·真空度：10-2torr（采用干泵） 10-5Torr(采用分子泵系统） ·设备中不包含真空泵，需要额外花费用购买，对于CVD实验建议选用干泵（图3）
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| 工作温度 | ·最高工作温度：1200℃（＜30分钟，采用加热加热模块辅助） ·最小温度：800℃（采用加热模块辅助） ·连续工作温度≤1100℃（加热模块辅助和等离子体） ·加热速率：1~20℃/min (可设置） ·仅仅通过微波约可以加热温度为750℃ |
| 温度控制器 | ·可设置50段温度段：加热速率，保温时间，降温速率 ·SCR温度控制 ·超温和断偶保护 ·控温精度：±1℃ ·一根K型热偶插入到炉管内部
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| 净重 | 30kg |
| 尺寸 | ·微波发生器： 560(L) x 410(W) x 340(H) mm ·设备总深度（包括炉管和法兰）：780mm ·控制器：600(L) x 520(W) x 265(H) mm |
| 保质期 | ·一年质保期，终生维护 ·耗材：坩埚，炉管。加热元件和密封圈不在质保期内 |
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皖公网安备 34012302000974号
