| 设备名称 | 高温MIST /LPCVD系统 MIST-1600-6 |
| 高频加热设备 | · 感应电源型号：SPG-50K-15AB · 输入电压：三相380±20% 50/60Hz · 输入功率：15KW · 输出电流：7-70A · 震荡频率：30-100KHZ · 保护系统：带有水压、过热、功率过高保护 · 加热系统尺寸：线圈内径Φ220mm，高度70mm,采用Φ8水冷铜管绕制，圈数4圈 · 冷却水要求：水压≥0.2Mpa 水流量≥6L/min 温度设定为30℃。 |
| 石英腔室 | · 石英炉管：Φ8.5”*500mm · 石墨样品台：内径φ155mm（可放置6英寸基片） · 保温材料：石墨毡 |
| 密封法兰和接口 | 上端法兰： · 一个φ6.35mm的卡套接头作为进气口使用 · 一个不锈钢截止阀控制进气； · KF-16的接口连接一个数显防腐真空计； · 一个φ6.35mm的卡套接头作为出气口使用 · 一个不锈钢球阀控制出气； · 一个φ6.35mm的卡套接头作为气液混合气的进气口； · 带安全泄压阀：当气压超过0.02MPa时会自动放气 · 带观察窗口：可观察内部的情况，尺寸φ35mm 下端法兰： · 一个φ6.35mm的铠装热电偶接口，热电偶可直接插入到石墨样品台底部 · 一个KF-25抽真空接口 |
| 控温模式 | 温控系统： · 50段智能控温仪，可设置50段升降温程序 · PID方式调节温度 · 带有温度上限报警，超过上限温度会切断加热开关，停止加热 · 控温精度:±1度 · 热电偶：C型 长度400mm 工作温度： · 最高温度： 1600℃＜1h，1500℃长期使用 · 推荐升温速率：≤2℃/S |
| 可加热气液混合系统 | · 气液混合罐材料：316不锈钢 · 容积：100ml · 压力表范围——-0.1-0.15MPa · 一个φ6.35mm的卡套接头作为进气口使用，一个不锈钢截止阀控制进气； · 一个φ6.35mm的卡套接头作为出气口使用，一个不锈钢截止阀控制出气 加热部分： · 出气管道缠绕加热带最高温度可达150度，采用K型热电偶测温，由独立的温控系统进行控温 · 混合罐外面套有加热环，最高温度可达150度，采用K型热电偶测温，由独立的温控系统进行控温 |
| 气体/蒸汽分散喷头 | · 材料：氮化硼或石墨
· 喷头直径：φ4”，喷孔直径φ0.5mm · 气液混合罐的出气口连接到喷头的进气口，采用不锈钢进行连接，管道外采用了加热带进行加热 |
| 数显防腐真空计 | · 型号：3PC3-011-1100（PCG554） · 测量范围：800torr到1*10-5torr · 电源：DC24V ，配有220V转24V的电源适配器
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| 水冷设备（选配 | · 型号：CW-6200 · 输入电压：220-240V 50HZ · 输入电流：2.3-13A · 最大功率：2.3KW · 水箱容量：15L
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| 真空系统(选配） | · 型号：无油真空泵 GSP-3 · 电源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 极限真空度：8.0*10-1Pa（无负载） · 抽气速率：3L/s · 抽气口：KF25接口 · 转声：1800rpm
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| 供气系统（选配） | · 型号：GSL-3Z-LCD · 电源：AC220V/50Hz · 功率：500W · 质量流量控制器量程：100.200.500（量程可选，气体可选） · 三路进气一路出气（进气出气方式可选） · 机械压力表：-0.1-0.15MPa · 连接管道；直径φ6.35mm的316材质的不锈钢管 · 触摸屏界面：方便操作
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| 气体探测器（选配） | · 可选配氢气探测器在此系统中，可以实时监测设备氢气的泄漏情况； · 氢气监测范围：1-1000ppm · 工作温度：-20℃——60℃ · 报警点设置：氢气报警器设置有两个报警，第一级的报警点50ppm，一旦探测到氢气浓度达到此值时，氢气报警器将发出蜂鸣报警声， 提醒客户检查漏气点。第二级的报警点为100ppm，一旦探测到氢气浓度到达此值时，系统自动关闭氢气进气阀。
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| 外形尺寸 | 700长*1300宽*1600mm高
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| 重量 | 约100KG |
| 保质期 | 1年（不包含炉管、O型圈、加热元件等损耗件） |
使用注意事项 | · 腔室内的气压不可高于0.02MPa； · 气瓶上必须安装减压阀； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热， 则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开出气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关 防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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