| 炉体结构 | · 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料 · 采用三可加热区，可达到600mm长的恒温区 · 外径304mm.内径203mm的石英管，带有不锈钢密封法兰 · 一个电动滑轨，上面装载石墨舟和样品 · 高纯石墨舟，可转载12片圆片或方形片，尺寸可达6英寸 · 1000W RF（13.5MHz）等离子电源 · 4通道混气系统 · 可选购真空泵（油泵或无油泵）
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| 电源要求 | · 208-240VAC，单相，50/60Hz · 9KW |
| 石英管&法兰 | · 外径304mm×内径203mm×长度1300mm · 设备包含一根石英管，可购买备用石英管 · 配有SS304不锈钢法兰，带有KF40真空接口&阀门和进气口&出气口 · 安装有一套双滑轨，直流电机驱动法兰和样品舟移动进出石英管
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| 石墨舟 | · 石墨舟采用高纯石墨（产自日本）制作，带有RF电极 · 12个插槽（4×3）可装载样品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直径6英寸圆片 · 客户可定制石墨舟（4×4或5×4）
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| 管式炉 | · 加热元件：NiCrAl合金丝 · 加热区：3个加热区（300mm＋300mm＋300mm） · 恒温区：600mm( +/- 2ºC,3个温区设置同样的温度) · 工作温度：400-1100℃ · 最大加热冷却速率：10℃/min
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| 温控系统 | · 3块3000型欧陆（Eurotherm）仪表，可设置24段升降温段 · 3根K型热电偶 · 控温精度： +/- 0.1°C · 包含软件和PC界面模块
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| 射频等离子电源 | · 输出功率：20-1000W（可调节，稳定性± 1% ） · RF频率：13.56MHz · 匹配方式：自动匹配 · 冷却：空气冷却 · 噪音：<50dB · 输入电源：110-240VAC，50/60Hz
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| 供气系统 | · 4个质量流量计安装在一个移动架内，控制精度：±1.5%FS，重复精度： ±0.2%FS · 控制1： 0~100SCCM · 控制2： 1~199SCCM · 控制3： 1~199SCCM · 控制4： 1~499SCCM · 触摸屏控制，设置各种参数 · 安装有RS485接口，用于通过PC远程控制 · 每个工位的流量控制范围可按客户要求定制
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| 真空泵&真空计 | · 一个防腐型数显真空计，测试范围可达到10-5torr · 设备使用需要真空泵，可在本公司选购各种真空泵
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| 产品尺寸 |
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| 净重 | 500kg |
| 质保 | 一年质保期，针对于电器和机械部分，不包含加热元件，石英管，密封圈 |
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