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热处理设备: 管式炉箱式炉箱管混合

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加热方式: 电阻加热红外灯管加热感应加热微波加热

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加热形式: 常规炉立式箱管混合式回转炉

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加热温度: 300-1200 1250-1500 1600-2000

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加热温区: 单温区双温区三温区多温区感应加热专用

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管径: ф‍25 ф‍50 ф‍60 ф‍80 ф‍100 ф‍120及以上

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1200℃三温区PE粉体回转炉系统

关键字：: 4通道混气、自动进出料、等离子增强、5英寸
型号：: OTF-1200X-III-R5-PECVD
产品概述：: OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统（R-PECVD），等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程。自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给和收集，包含射频电源（带自动匹配功能）、四通道质子流量计控制系统及真空泵系统，可由PLC触摸屏或PC电脑控制，使用方便快捷。

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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情

设备名称

1200℃5英寸三温区等离子增强粉体回转炉系统（2019.10.31-澳门太阳游戏城实验室审核）

产品提示

1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、澳门太阳游戏城实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 炉体在0 - 25°内倾斜，有利于粉末样品的装卸；

▪ 齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性；

▪ 四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控；

▪ 配备自动进出料系统可实现连续生产，可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给和收集。

加热炉参数

三温区回转炉

▪ 最高温度：1200℃（<30min）；连续工作温度：1100℃；

▪ 三个PID温度控制器及50段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

▪ 输入功率：208-240 V，单相，最大功率：4 KW；

▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗；

▪ 回转炉旋转速度：2-10 rpm；

▪ 炉体开启式设计以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

更多参数请联系澳门太阳游戏城销售部

射频电源

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调（稳定性：±1%）	0-500W可调（稳定性：±1%）	0-100W可调（稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片

真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10-2Torr。

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

一路	0-100 sccm
二路	0-200 sccm
三路	0-200 sccm
四路	0-500 sccm

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

产品尺寸和重量

▪ 设备尺寸：2800mm L× 800mm W×1700mm H

▪ 供气系统：600mm L×700mm W×700mm H

▪ 净重：180 kg

认证

▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

图片1.png

承诺

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）

国家专利

专利名称：一种自动收送料等离子回转升降炉系统

专利号：ZL 2020 2 0542143.6

尊重原创、鄙视抄袭、侵权必究。

仪表操作视频

澳门太阳游戏城应用技术实验室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）条件下沉积Sb2Se3薄膜，实验结果如下：

组别	SEM结果	元素百分比
		Sb (%)	Se(%)
未经任何处理的样品		40.01	59.99
等离子体处理		41.04	58.96
等离子体处理 min		41.64	58.36
等离子体处理5 min		41.86	58.14

小结:

（1）等离子体能改变Sb2Se3薄膜的形貌，同时改变Sb2Se3的组成；

（2）随着射频电源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。

组别	SEM结果	元素百分比
		Sb (%)	Se(%)
10W、条件下沉积Sb2Se3		40.01	59.99
75W、条件下沉积Sb2Se3		70.28	29.72
75W、3Pa且补充0.1g Se粉沉积Sb2Se3		43.13	56.87
75W、且补充2粉末（10%质量比Sb2Se3）沉积Sb2Se3		Sn: 22.78 Sb: 25.77	51.44

小结:

（1）低功率等离子体条件下可得到近原子比的Sb2Se3；

（2）高压条件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；

（3）添加Se会破坏PECVD沉积的Sb2Se3的原子比；

（4）当SnSe2质量比为10%时，可以得到Sb：Sn摩尔比接近于的薄膜，该方法适用于掺杂。

XRD结果

警示

（1）炉管内气压不可高于0.02 MPa；

（2）由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa，使用时会更加精确安全；

（3）石英管的长时间使用温度＜1100℃；

（4）当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

应用技术提示

（1）通入炉内气体流量需小于200 sccm，以避免冷的大气流对加热石英管造成冲击；

（2）加热时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02 MPa，需立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂、法兰飞出等）。

石英管	（1）标准5英寸高纯异形石英管；（2）两端直径为60mm，中间直径为127mm。
密封法兰	（1）一对不锈钢快接法兰（法兰上安装有KF25真空接头）；（2）磁流体密封旋转接头安装在两端，以保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用，避免卷绕。配件法兰1 配件法兰2
进料/收料器	（1）EQ-PF-1S是一款容积式自动进料器，包含电动搅拌器及带有振动装置的不锈钢料斗，可实现固体粉料的自动化进料，从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理；（2）2L不锈钢收集桶安装在右侧，可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集（标配中包含）进料器收料器
真空泵及真空表	（1）EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中，请点击图片了解详细参数；（2）KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；（3）真空度可达10-2Torr；注：可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量
四通道质子流量计控制系统	（1）四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；（2）流量范围: 一路: 0-100 sccm 二路: 0-200 sccm 三路: 0-200 sccm 四路: 0-500 sccm （3）电压：208-240V AC 50/60Hz；（4）气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；（5）不锈钢针阀用于手动控制气体进出；（6）PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。