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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 技术参数 |
轴向： | 36°AT cut/42.8°ST cut (+/-0.2°） | 直径： | 76.2mm(+/-0.3mm）；100mm(+/-0.3mm）， | 基准面： | 22mm(+/-2mm）；22mm(+/-2mm） | 厚度： | 500um(+/-10um）；350um(+/-10um） | 传播表面： | "+"面 Ra≤8Å | 晶片背面： | 0.2um≤Ra≤0.7um | TTV： | ≤10um | LTV： | ≤2.0um within an area of 5x5mm2 | PLTV： | ≥95% 3mm from excluded | BOW： | -25um≤Bow≤+25um | 籽晶区域： | to be within the center 3mm of the water | Q值： | ≥2million | 边缘倒角； | edge rounding |
|
| 产品规格 |
常规尺寸：dia3"x0.5mm;dia4"x0.5mm; 抛光情况：双抛；单抛; 表面粗糙度Ra:<5A 注：可按照客户要求加工尺寸及方向。 |
| 标准包装 |
1000级超净室100级超净袋 |
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