产品特点 | 可与准分子激光器配合进行PLD制膜 腔体内部可安装多块靶材,进行多靶激光蒸发 腔体内部靶材可旋转 可对基片加热(最高温度可达1200℃) |
加热炉(对基片加热 | 双层壳体结构,并带有风冷系统,使壳体表面温度小于60℃ 加热元件:掺钼铁铬铝合金(表面涂有氧化锆涂层) 最高工作温度:1200℃ 最大功率:1.2KW |
腔体 | 基片加热腔体为高纯石英材料 靶材蒸发腔体为不锈钢材料 靶材蒸发腔体内可安装3块靶材,并且靶材可旋转(转速:0-30rmp) 两个腔体通过卡箍式法兰连接(可点击图片查看详细资料)
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真空系统(选配) | 10-2Torr(采用机械泵) 10-5Torr(采用涡旋分子泵) 可在本公司购买各种真空泵 |
窗口 | 采用蓝宝石(Al2O3) 尺寸:Φ25*0.5mm 允许激光的入射角度为30°-90°
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压力控制系统 | 一套压力控制系统安装在仪器的腔体上,可保证腔体内部的气压恒定 与混气系统配合使用,可保证蒸发腔体中各种气体的分压恒定
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混气系统 | 配有2路质量流量计混合系统 混气罐尺寸:Φ80X120mm 最大气压:3×106Pa 精度:±1%FS 质量流量计量程:1:1-199sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计 可选购3-5路混气系统 |
等离子射频电源(可选购) | 可在设备上安装300W等离子射频电源,使腔体内的气体等离子化,达到等离子化激光蒸发反应镀膜
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质保期 | 一年质保期,终生维护(不包括密封圈、石英腔体和加热元件) |
仪器尺寸 | 1300mm*1260mm*820mm |
质量认证 | 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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