| 视频 |
操作视频 |
| 主要参数 | ·工作环境：温度 < 42°C，湿度 ≤ 40℃RH ·输入电源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W ·等离子体工作压力 |
| RF发生器 | · 输出频率：20-23kHz , 25KV ·等离子枪头：仪器中包括两种等离子枪头：圆形头：10-12mm，矩形头：15-18mm |
| 输入气体气压，工作气体 | ·40 PSI min.(0.055 Mpa) ·Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 ) |
| 样品台和控制柜 | ·配有可在X-Y轴移动的样品台，通过步进电机驱动，采用SBC控制盒控制 ·可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离 ·控制盒采用LCD显示，可设置其等离子枪头的扫描程序。 ·最大扫描范围：8" x 9" ·一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上，可吸住直径为6"的样品。 ·配有一真空泵，可与真空吸盘相连接 ·整个系统安装在一移动架上（600x600x 800Lmm） ·可选：可选加热样品台（最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。 |
| 外形尺寸 | ·处理样品台尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H ·等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H ·控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H |
| 净重 | ·55kg |
| 认证 | 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
| 文献 | ·请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息：常压等离子体增强化学气相沉积（AP-PE-CVD）用于在低温下生长薄膜。 |
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皖公网安备 34012302000974号
