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高真空法兰组件 ( 50 ODx44 ID x 263 L, mm)
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1100℃小型坩埚炉
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小型悬浮真空感应熔炼炉
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2000℃温度可控型高通量感应熔炼炉
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1500℃气氛保护连续铸造炉
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超声雾化热分解炉
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1200℃三温区管式炉(温区610mm,可选石英管和法兰60-130mm)
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1200℃小型双温区开启式管式炉(可选1或2英寸石英管和法兰)
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1800℃小型真空管式炉 (60mm外径,康耐尔1800级硅钼棒)
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1750℃桌面式真空气氛管式炉(60mm外径,康耐尔1800级硅钼棒)
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1100℃石英管式炉(50mm炉管,带温度校准器和真空泵)
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1400℃箱式炉(3.4L,炉腔尺寸:150*150*150mm)
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导电陶瓷隔膜
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6um厚Cu箔
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甲基吡咯烷酮
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导电石墨粉
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1200度旋转粉末ALD系统
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普通加热平台
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线切割机摇摆机构
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铸铝抛光盘
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弹性样品夹
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精确磨抛控制仪
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自动压力研磨抛光机
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自动精密研磨抛光机