薄膜电池方案工艺流程 | ||
参考工序 | 设备名称 | 相关产品 |
材料烧结 | 管式炉 | ALD-1200X-4 OTF-1200X-S OTF-1200X-50S-PE OTF-1200X-HP-30A |
静电纺丝 | 静电纺丝机 | MSK-NFES-3C MSK-NFES-3C MSK-NFES-1 |
蒸镀溅射 | 蒸镀溅射仪 | VTC--16-3HD VTC-16-D VTC-16-SM VTC-5RF
VTC-600-2HD VTC-600-3HD |
高效球磨 | 球磨机 | MSK-PCV-300 MSK-SFM-13S MSK-SFM-15 MSK-SFM-LN-192 |
极片涂层 | 涂层机 | VTC-200 VTC-100 SPC-1 VTC-50 |
极片辊压 | 辊压机 | |
材料 | 材料 | Lib-LiF-35M Lib-LiF-30M |